潔凈室高效風(fēng)口現(xiàn)場檢漏

——?dú)馊苣z光度計(jì)法與粒子計(jì)數(shù)法的對比探討

本文通過對比試驗(yàn)對氣溶膠光度計(jì)法與粒子計(jì)數(shù)法這兩種測試方法的技術(shù)與經(jīng)驗(yàn)進(jìn)行了相關(guān)探討，其試驗(yàn)結(jié)論對于提高目前風(fēng)口檢漏的檢測水平起到了積極的推動作用。

根據(jù)GB50591-2010潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范，ISO14644標(biāo)準(zhǔn)以及SFDA、GMP的要求，高效過濾器安裝后，贏對其進(jìn)行檢漏測試，以檢查高效過濾器的密封墊、框架及過濾器濾材等處的密封性并定期進(jìn)行高效過濾器的檢漏試驗(yàn)，確保其符合要求。它是保證車間潔凈環(huán)境的重要手段之一。

根據(jù)ISO14644-3.B.6給出的測試方法，高效風(fēng)口檢漏試驗(yàn)一般采用氣溶膠光度計(jì)法和離散粒子計(jì)數(shù)法。

高效過濾器檢漏使用塵緣有聚α烯烴（PAO）和癸二酸二（2-乙基己基）酯DEHS等幾種。

氣溶膠光度計(jì)法與粒子計(jì)數(shù)法的測試區(qū)別

氣溶膠光度計(jì)法使用的測量儀器是氣溶膠光度計(jì)。氣溶膠光度計(jì)是一種前散射線性光度計(jì)。它友真空泵、光散射室、光電倍增管、信號處理轉(zhuǎn)換器和微處理器等組成。其工作原理是當(dāng)氣流被真空泵抽至光散射室時(shí)，其中的顆粒物質(zhì)散射光線至光電倍增管。在光電倍增管中，光被轉(zhuǎn)換成電信號，此信號經(jīng)放大和數(shù)字化后由微處理器分析，從而測定散射光的強(qiáng)度。通過與參比物質(zhì)產(chǎn)生的信號對比，可以直接測量氣體中顆粒物質(zhì)的質(zhì)量濃度。檢漏使用的塵源是聚α烯烴（PAO）。光度計(jì)測量結(jié)果顯示的是ug/L（毫克/升）。

粒子計(jì)數(shù)器法使用的測量儀器是粒子計(jì)數(shù)器。粒子計(jì)數(shù)器的工作原理是講來自光源的光線被透鏡組聚焦于測量腔內(nèi)。當(dāng)空氣中的每一個(gè)粒子快速的通過測量腔時(shí)，便把入射光散射一次，形成一個(gè)光脈沖信號。這一光信號經(jīng)過透鏡組被送到光檢測器。正比轉(zhuǎn)換成電脈沖信號，再經(jīng)過儀器電子線路的放大、甄別、揀出需要的信號，通過計(jì)數(shù)系統(tǒng)顯示出來，得知空氣中微粒的粒徑和個(gè)數(shù)。檢漏使用的成員是癸二酸二（2-乙基己基）酯DEHS。粒子計(jì)數(shù)器結(jié)果顯示的是：粒徑的粒子數(shù)，單位為顆/28.3L。

氣溶膠光度計(jì)法與粒子計(jì)數(shù)器法檢漏的對比試驗(yàn)

之前有進(jìn)行過氣溶膠光度計(jì)法與粒子計(jì)數(shù)器法檢漏的對比試驗(yàn)。試驗(yàn)對象為規(guī)格1190*650的層流罩，高效過濾器采用反液槽密封無隔板高效過濾器（www.rfilter.com），尺寸規(guī)格484*484*70，四面加500mm寬防靜電軟簾圍擋。

本次試驗(yàn)依據(jù)為ISO14644-3-B.6.2使用氣溶膠光度計(jì)對就位過濾系統(tǒng)掃描檢漏的方法和ISO14644-3-B.6.3使用粒子計(jì)數(shù)器對就位過濾系統(tǒng)掃描檢漏的方法。

本次試驗(yàn)使用的儀器如下：

ATI-TDA-2H氣溶膠光度計(jì)，美國ATI公司產(chǎn)品

ATI-TDA-6C發(fā)生器（PAO），美國ATI公司產(chǎn)品

ATI-L310S計(jì)數(shù)檢漏儀，美國ATI公司產(chǎn)品

ATI-Q3氣溶膠發(fā)生器（DEHS），美國ATI公司產(chǎn)品

ATI-S015稀釋器（109倍），美國ATI公司產(chǎn)品

風(fēng)速儀，德威爾

實(shí)驗(yàn)內(nèi)容及數(shù)據(jù)分別如表1、表2、表3、表4所示。

表1對比檢測一：用光度計(jì)和粒子計(jì)數(shù)器分別進(jìn)行檢漏測試

試驗(yàn)結(jié)論

l 氣溶膠光度計(jì)法操作簡便，相對粒子計(jì)數(shù)器法使用方便。

l 用PAO測試時(shí)，光度計(jì)的上游濃度為2ug/L，相當(dāng)于粒子計(jì)數(shù)器為1200萬顆/28.3L，計(jì)數(shù)法能在下游檢測出漏點(diǎn)，而用光度計(jì)無法檢測出漏點(diǎn)，用DEHS測試時(shí)，被測結(jié)果與上述數(shù)據(jù)一致，說明計(jì)數(shù)法更靈敏。

l 在同樣的漏點(diǎn)被檢測出時(shí)，光度計(jì)法所需要上游濃度要比粒子計(jì)數(shù)法大100倍左右，這就造成了對過濾器和環(huán)境的污染。濃度越大，噴霧時(shí)間長的花，會有微小油滴聚集。

l 用計(jì)數(shù)器法對過濾器檢漏，上游所需發(fā)塵濃度低，下游探測靈敏度高，相對光度計(jì)法污染低。

l 用計(jì)數(shù)器法克直接現(xiàn)場打印數(shù)據(jù)，得到粒子粒徑數(shù)，便于追查漏點(diǎn)原因，而光度計(jì)法則無現(xiàn)場打印功能，無粒徑概念，對超高效不合適。

l 推薦使用氣溶膠：DEHS，更經(jīng)濟(jì)實(shí)惠，而且符合標(biāo)準(zhǔn)要求。

本次試驗(yàn)對比旨在對上述兩種測試方法之間的技術(shù)與經(jīng)驗(yàn)進(jìn)行相關(guān)交流與學(xué)習(xí)，同時(shí)也對提高目前風(fēng)口檢漏的檢測水平起到了積極的推動作用。

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