01

無塵室的等級說明

依據(jù)美國聯(lián)邦政府頒布的標(biāo)準(zhǔn)【Federal Atandard（FS）209E，1992】，可將無塵室分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級，如果無塵室的等級只用塵粒數(shù)目來敘述，則可假設(shè)塵粒的尺寸是0.5um，無塵室等級應(yīng)以特定塵粒尺寸的級數(shù)來表示。例如：10級在0.2um（塵粒尺寸在0.2um或更大下，密度不大于75顆/立方英尺），1級在0.1um（塵粒尺寸在0.1um或更大下，密度不大于35顆/立方英尺）。

02

無塵室等級標(biāo)準(zhǔn)

據(jù)查詢無塵室等級標(biāo)準(zhǔn)的版本較多，于是小編就整理兩個較常用的劃分標(biāo)準(zhǔn)，分別是國際標(biāo)準(zhǔn) IOS14644-1、中國標(biāo)準(zhǔn) GB/T16292-1996，具體詳情請看下表：

空氣潔凈度分級標(biāo)準(zhǔn)：IOS14644-1（國際標(biāo)準(zhǔn)）

空氣潔凈度等級（N）	大于或等于所標(biāo)粒徑的粒子最大濃度限值（個/每立方米空氣粒子）
	0.1um	0.2um	0.3um	0.5um	1um	5um
ISO Class 1	10	2
ISO Class 2	100	24	10	4
ISO Class 3	1000	237	102	35	8
ISO Class 4	10000	2370	1020	352	83
ISO Class 5	100000	23700	10200	3520	832	29
ISO Class 6	1000000	237000	102000	35200	8320	293
ISO Class 7				352000	83200	2930
ISO Class 8				3520000	832000	29300
ISO Class 9				35200000	8320000	293000
注：由于涉及測量過程的不確定性，故要求用不超過三個有效的濃度數(shù)字來確定等級水平

空氣潔凈度分級標(biāo)準(zhǔn)：GB/T16292-1996（中國標(biāo)準(zhǔn)）

粒徑、數(shù)值潔凈度級別	塵埃最大允許數(shù)/立方米		微生物最大允許數(shù)
	≥0.5um	≥5um	浮游菌/立方米	沉降菌/皿
100級	3500	0	5	1
10000級	350000	2000	100	3
100000級	3500000	20000	500	10
300000級	10500000	60000	-	15

03

無塵室標(biāo)準(zhǔn)分類

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亂流式(Turbulent Flow)：

空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與無塵車間內(nèi)的空氣過濾器(HEPA)進(jìn)入無塵室，并由無塵車間兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運(yùn)動呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于無塵室等級為1,000-100,000級的。

優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡單、系統(tǒng)建造成本低，無塵室擴(kuò)充比較容易，在某些特殊用途場所可并用無塵工作臺，提高無塵車間等級。

缺點(diǎn)：亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運(yùn)轉(zhuǎn)再激活，欲達(dá)要求的潔凈度，需耗時相當(dāng)長一段時間。

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層流式(Laminar)：

層流式空氣氣流運(yùn)動成均勻的直線形，空氣由覆蓋率100%的過濾器進(jìn)入室內(nèi)，并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng)，此型式適用于無塵室等級需求較高的環(huán)境使用，一般其無塵室等級為Class 1~100。

其型式可分為二種：

?無塵車間水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻壁的回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng)，塵埃隨風(fēng)向排出室外，一般下流側(cè)污染較嚴(yán)重。

優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡單，運(yùn)轉(zhuǎn)后短時間內(nèi)即可變穩(wěn)定。

缺點(diǎn)：建造費(fèi)用比亂流式高，室內(nèi)空間不易擴(kuò)充。

?無塵車間垂直層流式：房間天花板完全用ULPA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可獲得較高的潔凈度，在生產(chǎn)中或工作人員所產(chǎn)生的塵埃可快速排出室外并不會影響其它工作區(qū)域。

優(yōu)點(diǎn)：管理容易，運(yùn)轉(zhuǎn)開始短時間內(nèi)即可達(dá)穩(wěn)定狀態(tài)，不易受作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。

缺點(diǎn)：構(gòu)造費(fèi)用較高，彈性運(yùn)用空間困難，天花板的吊架相當(dāng)占空間，維修更換過濾器較麻煩。

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復(fù)合式(Mixed Type)：

復(fù)合式是將亂流式及層流式予以復(fù)合并用，可提供局部超潔凈空氣。

• 無塵車間潔凈隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA過濾器將生產(chǎn)區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上，可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。此型式需將作業(yè)人員的工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離，以避免機(jī)器維修時影響了工作及品質(zhì)，超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)大都采用此種型式。

  潔凈隧道另有二項(xiàng)優(yōu)點(diǎn)：彈性擴(kuò)充容易、維修設(shè)備時可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。

  
  

• 無塵車間潔凈管道(Clean Tube)：將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動生產(chǎn)線包圍并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量的送風(fēng)即可得到良好的潔凈度，可節(jié)省能源，不需人工的自動化生產(chǎn)線最適宜使用。藥品、食品及半導(dǎo)體均適用。

  
  

• 無塵車間并裝局部無塵室(Clean Spot)：將亂流無塵室內(nèi)的產(chǎn)品生產(chǎn)區(qū)的潔凈度等級提高為10~1000級以上，為生產(chǎn)用。

04

無塵室的應(yīng)用標(biāo)準(zhǔn)

若想檢驗(yàn)無塵室是否達(dá)到應(yīng)用標(biāo)準(zhǔn)，大家可以先從遮蔽率；風(fēng)速、溫濕度；壓差、構(gòu)成要求這四個方面考慮：

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遮蔽率

無塵等級	Air Change（次/hr）	HEPA遮蔽率
Class 100	240-480	50%-100%
Class 1000	17-240	10%-35%
Class 10000	10	8%-10%

Air Change：FFU的表面積*風(fēng)速*FFU數(shù)量/無塵室體積

HEPA遮蔽率：FFU的表面積*FFU數(shù)量/無塵室面積

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風(fēng)速、溫濕度

氣流速度為：0.3-0.5m/s（60-100ft/min）

一般溫度控制范圍：T=（21±2）℃

一般濕度控制范圍：（45±5）%RH

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壓差

在兩個無塵室間合理的設(shè)計壓力差應(yīng)為10Pa，而在無塵室和未確認(rèn)潔凈等級的區(qū)域應(yīng)保持有15Pa的壓力差。當(dāng)產(chǎn)生這些壓力差有實(shí)際困難時，維持5Pa的最小壓力差是可以接受的。

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構(gòu)成要求

A.不會因溫度變化與振動而發(fā)生裂痕

B.不易產(chǎn)生微塵粒子，且很難附著粒子

C.吸濕性小

D.為了維持室內(nèi)之濕度條件，熱絕緣性要高

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