隨著人們生活質(zhì)量的提高，對(duì)生產(chǎn)質(zhì)量的要求也越來(lái)越嚴(yán)格。電子廠等行業(yè)的靜電控制主要分為兩類：高濕度實(shí)際上減少了無(wú)塵車間和潔凈室表面的靜電荷積累，這是我們希望的結(jié)果。低濕度更適合電荷的積累，并成為潛在的破壞性靜電釋放源。

當(dāng)相對(duì)濕度超過(guò)50%時(shí)，靜電荷開(kāi)始迅速消散，但當(dāng)相對(duì)濕度小于30%時(shí)，它們可以在絕緣體或未接地表面長(zhǎng)期存在。

相對(duì)濕度在35%到40%之間可以作為令人滿意的折扣。在半導(dǎo)體無(wú)塵車間和潔凈室，通常使用額外的控制裝置來(lái)限制靜電荷的積累。許多化學(xué)反應(yīng)的速度，包括腐蝕過(guò)程，將隨著相對(duì)濕度的增加而加速。所有暴露在無(wú)塵車間的潔凈室周圍的空氣表面都很快被至少一層單分子層的水覆蓋。當(dāng)這些表面由薄金屬涂層組成，可與水反應(yīng)時(shí)，高濕度會(huì)加速反應(yīng)。幸運(yùn)的是，一些金屬，如鋁，可以與水形成一層保護(hù)性氧化物，防止進(jìn)一步氧化反應(yīng)；但另一種情況是，如氧化銅，沒(méi)有保護(hù)能力。因此，在高濕度環(huán)境下，銅表面更容易腐蝕。

綜上所述，電子行業(yè)無(wú)塵車間溫濕度的控制主要在于其生產(chǎn)工藝的要求：小編來(lái)跟大家舉一個(gè)例子來(lái)說(shuō)明一下。

在精密機(jī)械加工和測(cè)量的情況下，為了防止熱膨脹引起的誤差，工件必須保持一定的溫度。工件溫度的允許波動(dòng)范圍應(yīng)根據(jù)加工精度確定。例如，在恒溫室中，對(duì)于長(zhǎng)500mm的標(biāo)準(zhǔn)尺刻線，工藝允許線間公差為2um，其中l(wèi)um是尺度溫度變化引起的變形誤差，另一個(gè)um是加工和測(cè)量誤差。1um相當(dāng)于尺度溫度變化量=0.20c[a為尺度膨脹系數(shù)，取10/um/（m？K）；l為尺長(zhǎng)，m]，因此工件溫度變化應(yīng)在內(nèi)。

但由于工件測(cè)量?jī)x器具有一定的熱惰性，空氣溫度的波動(dòng)會(huì)導(dǎo)致人工部件的衰減。在設(shè)計(jì)恒溫系統(tǒng)時(shí)，一般總是基于恒定的環(huán)境空氣溫度，因此相應(yīng)的環(huán)境溫度精度可低于工件允許的溫度精度。因此，在確定恒溫室參數(shù)和選擇自動(dòng)控制時(shí)，必須考慮恒溫恒濕車間、圍護(hù)結(jié)構(gòu)、空氣處理設(shè)備和自動(dòng)控制系統(tǒng)之間的動(dòng)態(tài)特性。

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